NBD-T1700-80T22G3Z高温高真空CVD一体机

产品型号

NBD-T1700-80T22G3Z

Z高温度

1700℃

控温精度

±1℃

15.6英寸

传感器类型

B型

推荐升温速率

≤10/min

6×10-4Pa

 无油涡旋式干式真空泵  （前级泵，具有结构简单，密封性能好，真空高等特点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点）

控制系统     

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

气体系统（可选购）

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

进气接口数量

2、3、4（多路可选）

流量范围

20-200/60-600l/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统（可选购）

真空泵型号

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

分子泵高真空系统

（可选购）

分子泵系统型号

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC 220V

AC 220V

AC 380V