六温区 CVD系统

产品型号

六温区

炉管尺寸

Ø25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*1600mm

工作温度

≤1150℃

加热区选择

(可定制）

200mm*6

300mm*6

升温速率

≤20℃/min

电气规格

AC380V 12~18KW

气体系统（可选购）

浮子或质量流量计（MFC）

管道示意图

进气接口数量

2、3、4（多路可选）

流量范围

20-250/20-800ml/min......(多量程可选)

50/100/200/500sccm......(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统（可选购）

真空泵型号

NBD-3C/NBD-4C

抽气速率

3L/s或4L/s

进排气口尺寸

KF16/25

系统真空

3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa）

工作环境温度

5-40℃

电气规格

AC220V

高真空系统（可选购）

真空泵型号

NBD-103(B)

抽气速率

600L/s

真空测量计

复合真空计

系统真空

6*10^-4Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC 380V