RTS-4型四探针测试仪

可测晶片直径

 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
   200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
   400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源

 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调

数字电压表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
   分辨力：10μV；
   输入阻抗：>1000MΩ；
   精度：±0.1% ；
   显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标

 间距：1±0.01mm；
   针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
   机械游移率：≤0.3%；
   探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
   探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数

 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差
  ( 按JJG508-87进行)

 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整机测量z大相对误差

(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度

 ≤5%

测试模式

 可连接电脑测试也可不连接电脑测试

软件功能（选配）

软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据z大值、z小值、平均值、z大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。

计算机通讯接口

并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒

标准使用环境

 温度：23±2℃；
   相对湿度：≤65%；
   无高频干扰；
   无强光直射；